质谱真空泵的使用需要注意的要点有很多，对于操作人员的技术要求也很高，操作人员在使用之前需经过相关培训方能上岗操作，并熟悉泵油及系统的产物，使用中如果需要对设备进行维护必须先将设备停下，降到安全温度，并断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外。
除此之外，在质谱真空泵的运转过程中，设备和油都会受到化学品的污染，因此，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害，维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封，不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。
使用中如果更换前置真空泵油，需要操作人员按照以下相关技术要求进行操作，其中：
1、开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)。
2、断开泵和电路及真空系统的连接，取下加油孔的塞子。
3、将泵放在一个适当的支撑物上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器，取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。
4、油受污染时应取下加油孔塞子，倒进干净的油，重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟，断开电路连接，取下塞子，让油流出来，重复上述步骤直到将泵清洗干净。
5、塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
6、装上新油，直到油位达到MAX位置附近，等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油(需再关泵)，塞上加油孔的塞子。
作为质谱真空泵的一重要配件，质谱隔音罩在设备运行过程中作用显著，该隔音罩免敏，消毒表面，易于擦拭，的环保隔热材料，防油和防水，设计精巧的导风系统可以大化地散热，同时还能地隔音。
